FAMate 개요

FAMate는 SECS, GEM, HSMS Protocol과 PLC를 사용하는 반도체 및 FPD 공장의 장비 자동화를 위한 솔루션입니다. FAMate는 XML과 연계된 컴포넌트 기반의 개발자 인터페이스를 구현하여 쉬운 개발 환경과 강력한 성능을 제공하며, Equipment Engineering System(EES)구축에 필요한 다양하고 많은 양의 Data Collection을 위해 성능을 최우선적으로 고려, 부가적인 Coding을 최소화 했습니다. 또한, 장비 호스트의 Logic을 데이터로 분리했고, 컴포넌트가 XML 텍스트 데이터를 해석하여 비즈니스 Logic을 실행하는 어플리케이션 역할을 하도록 디자인 된 새로운 개념의 장비 자동화 솔루션입니다.

FAMate 구성도

다른 툴이 Custom Component를 사용하여 SECS 프로토콜을 정의한 것에 반해, FAMate는 세계 최초로 XML을 사용하여 비즈니스 로직을 텍스트화 하였습니다. XML의 다양한 기능과 최소의 리소스를 사용하여 완벽한 프로토콜 Parsing 및 구성을 구현함으로써, EAP(Equipment Automation Program)가 운영되는 중에도 비즈니스 로직을 변경 할 수 있으며 인터넷 상에서도 EAP의 개발, 유지, 보수, 관리가 가능합니다. 또한 Internet 상에서도 SECS/GEM/HSMS TEST를 할 수 있습니다.

모듈구성
Event Handler
Sequence Controller
Item Contents Changer
Transaction Analyzer
Interface Channel Component
Message Parser and Modifier
SECS/GEM/HSMS Driver
SECS/GEM/HSMS TESTER