EDAMate 개요

EDAMate는 데이터, 모니터링, 제어 기능을 수행하기 위한 설비들에 있는 homogeneous한 port로써 동작하는 설비의 데이타 수집을 위한 인터페이스 솔루션입니다. 또한 EDAMate는 SEMI에서 개발한 EDA 표준들을 만족하는 Connectivity 솔루션으로서 모듈화 및 서비스 지향 아키텍쳐에 기반을 두고 개발되었습니다. EDAMate는 300mm 설비들을 위해 대용량 데이타 수집을 가능하게 하며, IC나 장비제조업자들의 사용자 요구사항에 맞게 환경설정이 가능하고 확장이 용이합니다.

EDAMate 구성도

서비스 컴포넌트