DACrux / DMS Automation Defect Map Design & Drawing

Recipe 정보를 자동으로 인식하여 Defect Map을 Drawing

DACrux / DMS Real Size Defrct Drawing

미세한 Defect에 대한 식별을 용이하게 하기 위하여 Defect Size를 자유롭게 조절하여 Drawing

DACrux / DMS Defect Size Scope Handling

Defect Map의 무한대 확대 및 축소 가능

DACrux / DMS No Limited Zoom In / Out

Inspection or Review 과정에서 생긴 Image를 자동으로 Link하여 Wafer나 Defect 분석시 Gallery등으로 제공

DACrux / DMS Automatic Image Link

Defect Inspection/Review Data Result를 표준화 하여 DB에 저장

DACrux / DMS Standardization Data Interface

Defect Inspection/Review Data Result를 표준화 하여 DB에 저장

DACrux / DMS Various Data Collection Method

FTP(Get, Receive), NFS등 다양한 Interface Protocol 지원

DACrux / DMS Custom Review Generation

사용자가 Filtering한 Defect Data만을 Review시 선택하여 활용할 수 있도록 Review Source File 생성 가능

DACrux / DMS Defect MAp Drawing

Defect Map Drawing시 Graphic Handling으로 인한 병목현상 해소

DACrux / DMS Dynamic Data Selection

UI 상에서 분석/조회 조건을 사용자가 Configure하여 사용 가능

DACrux / DMS Custom Analysis Desk

선택된 다수의 Defect Map 중에서 사용자별로 집중 분석하고자 하는 대상 Defect Map만을 선정하여 분석하는 기능

DACrux / DMS Easy Maintenance

Process Monitoring, Data Loss Monitoring 및 Equipment Monitoring등 다양한 Monitoring 기능 제공