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주요기능

Nexplant QMS Base (Framework)

시스템 유지관리에 필요한 프레임웍/Utility

- 시스템 Framework
- 데이터 가공 처리 Utility
- 데이터 수집 미들웨어
- Customization Function Plug In Module

Nexplant QMS STAT (Statistical)

엔지니어링 기반의 통계분석 도구

- 데이터 Manipulation
- User Graph Module
- Excel Export/Import
- 데이터 분석 프로젝트 관리
- 타 Module 데이터를 Import 받을 수 있는 인터페이스 제공

Nexplant QMS TEST

반도체 산업에 특화된 대용량 데이터 분석 도구

- MES에서 정보를 받아 자동으로 테스트 프로그램 다운로드 (TAMS)
- 테스트 결과를 실시간 모니터링 하며 이상발생에 대한 경고 및 알람 제공
- Stand-by or Pause of Tester
- Tester/Prober/Handler Event Entry
- Prober Re-Test 컨트롤

Nexplant QMS DMS

반도체, FPD, PCB 등 정밀 공정의 Defect 모니터링 및 관리 도구

- Vision Data Analysis 및 Auto Link 된 이미지 분석
- Particle의 반복 Pattern 인식
- 중첩 불량 검출

Nexplant QMS SPC

통계적 공정관리 도구

- XBar Chart, Range Chart 등을 비롯해 Sigma 등 총 9개의 SPC 관리도 제공
- 차트별로 Control Limit등의 데이터 관리
- 시스템에서 Recommend하는 Control을 Drawing하거나 시스템에 등록 가능

Nexplant QMS EMS (RMS, PMS, OEE, TAMS)

설비 Parameter 및 성능 관리 도구

- Golden Recipe와 Equipment Recipe 관리 및 자동 다운로드
- Auto CCS (Change Check System) 를 통한 변화관리
- Parameter 모니터링 등 OEE 연계 분석
- 생산변화에 대한 Interlock
- Alarm 모니터링 및 설비의 반복 Alarm에 대한 Interlock